RayScan Nano Probenhalter

RayScan Nano

Die Nano Welt entdecken

RayScan Nano ist ein leistungsfähiges Werkzeug für die vollständige dreidimensionale strukturelle und chemische Analyse bei höchster Ortsauflösung.

Das System enthält eine öntgenröhre, die Brennflecke von höchster Brillanz und bislang unerreichter Güte (ø <150 nm) erzeugt. Ein hochgenaues Manipulationssystem und ein Photonen zählender, energiesensitiver Flachbild-Detektor erlauben eine Ortsabtastung von 60 nm bis 10 µm.

RayScan Nano eignet sich besonders für die Entwicklung, Analyse und Charakterisierung von neuen Materialien deren Strukturgrößen im Nanometerbereich liegen – bspw. Integrierte Schaltungen, Elektronikbaugruppen, Chips oder biologische Proben.

Auch für klassische metallurgische Untersuchungen und die Optimierung von Fertigungsprozessen ist das System geeignet und liefert im Vergleich zu bislang erhältlichen CT-Systemen deutlich bessere Ergebnisse.


PDF-Ikon RayScan Nano


Technische Daten
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RöntgenquelleNanofokus 10 - 80 kV
Brennfleck0,15 μm - 1 μm
Objektabmessungen (CT)/td>< 0,1 mm - 100 mm
Messbereich200 μm - 35 mm
aktive Fläche Detector (optional)30 mm x 185 mm
Anzahl Detektorpixel (optional)512 x 3072
DigititalisierungPhotonen zählend
Detailerkennbarkeit< 60 nm
Betriebsmodi3D-CT, Ausschnitt-CT und Radioskopie